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傳統(tǒng)表面粗糙度測量儀的工作原理
日期：2024-09-19 10:35
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摘要：
粗糙度儀
1.1針描法 針描法又稱觸針法。當(dāng)觸針直接在工件被測表面上輕輕劃過時(shí)，由于被測表面輪廓峰谷起伏， 觸針將在垂直于被測輪廓表面方向上產(chǎn)生上下移動，把這種移通過電子裝置把信號加以放大， 然后通過指零表或其它輸出裝置將有關(guān)粗糙度的數(shù)據(jù)或圖形輸出來
1.2 粗糙度儀的工作原理采用針描法原理的表面粗糙度測量儀由傳感器、驅(qū)動器、指零表、記錄器和電感傳感器是輪廓儀的主要部件之一，其工作原理見圖2，在傳感器測桿的一端裝有金剛石觸針，觸針**曲率半徑r很小，測量時(shí)將觸針搭在工件上，與被測表面垂直接觸，利用驅(qū)動器以一定的速度拖動傳感器。由于被測表面輪廓峰谷起伏，觸狀在被測表面滑行時(shí)，將產(chǎn)生上下移動。此運(yùn)動經(jīng)支點(diǎn)使磁芯同步地上下運(yùn)動，從而使包圍在磁芯外面的兩個差動電感線圈的電感量發(fā)生變化。圖3為儀器的工作原理主框圖。傳感器的線圈與測量線路是直接接入平衡電橋的，線圈電感量的變化使電橋失去平衡，于是就輸出一個和觸針上下的位移量成正比的信號，經(jīng)電子裝置將這一微弱電量的變化放大、相敏檢波后，獲得能表示觸針位移量大小和方向的信號。此后，將信號分成三路：一路加到指零表上，以表示觸針的位置，一路輸至直流功率放大器，放大后推動記錄器進(jìn)行記錄；另一路經(jīng)濾波和平均表放大器放大之后，進(jìn)入積分計(jì)算器，進(jìn)行積分計(jì)算，即可由指示表直接讀出表面粗糙度Ra值。
圖3傳統(tǒng)表面粗糙度測量儀工作原理框圖指零表的作用反映鐵芯在差動電感線圈中所處的位置。當(dāng)鐵芯處于差動電感線圈的中間位置時(shí)，指零表指針指示出零位，即保證處于電感變化的線性范圍之內(nèi)。所以，在測量之前，必須調(diào)整指零表，使其處于零位。噪聲濾波的目的在于剔除一些干擾信號，如電氣元件的噪聲所引起的虛假信號。大量的測試表明，高于400Hz的信號即不是被測表面粗糙度所引的信號，必須從總信號中加以剔除。所以噪聲濾波器是一種低通(低頻能通過)濾波器，它使400Hz以下的低頻信號順利通過，而將400Hz以上的高頻信號迅速衰減，從而達(dá)到濾波的目的。波度濾波的目的則是用以濾掉距大于取樣長度的波度，因此它是一個高通(高頻能通過)濾波器，使表面粗糙度所引起的高頻(相對于波度引起的低頻而言)信號能自由通過。經(jīng)過噪聲濾波和波度濾波以后，剩下來的就是與被測表面粗糙度成比例的信號，再經(jīng)平均表放大器后，所輸出的電流I與被測表面輪廓各點(diǎn)偏離中線的高度y的**值成正比，然后經(jīng)積分器完成的積計(jì)算，得出Ra值，由指零表顯示出來。這種儀器適用于測定0.02-10μm的Ra值，其中有少數(shù)型號的儀器還可測定更小的參數(shù)值，儀器配有各種附件，以適應(yīng)平面、內(nèi)外圓柱面、圓錐面、球面、曲面、以及小孔、溝槽等形狀的工件表面測量。測量迅速方便，測值精度高。
2. 傳統(tǒng)表面粗糙度測量儀存在以下幾個方面的不足：
(1)測量參數(shù)較少，一般僅能測出Ra、Rz、Ry等少量參數(shù)；(2)測量精度較低，測量范圍較小，Ra值的范圍一般為0.02-10μm左右；(3)測量方式不靈活，例如：評定長度的選取，濾波器的選擇等；(4)測量結(jié)果的輸出不直觀。造成上述幾個方面不足的主要原因是：系統(tǒng)的可靠性不高，模擬信號的誤差較大且不便于處理等。
3 表面粗糙度儀
3.1 傳統(tǒng)表面粗糙度測量儀的改進(jìn)方案為了克服傳統(tǒng)表面粗糙度測量儀的不足，應(yīng)該采用計(jì)算機(jī)系統(tǒng)對其進(jìn)行改進(jìn)。例如，英國蘭克精密機(jī)械有限公司制造的“泰呂塞夫(TALYSURF)”10型和我國哈爾濱量具刃具廠制造的2205型表面粗糙度測量儀就采用了計(jì)算機(jī)系統(tǒng)，使其性能較之傳統(tǒng)表面粗糙度測量儀有極大的提高。其基本原理如圖4所示，從相敏整流輸出的模擬信號，經(jīng)過放大及電平轉(zhuǎn)換之后進(jìn)入數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)，計(jì)算機(jī)自動地將其采集的數(shù)據(jù)進(jìn)行數(shù)字濾波和計(jì)算，得到測量結(jié)果，測量結(jié)果及輪廓圖形在顯示器顯示或打印輸出。圖4改進(jìn)后的表面粗糙度測量儀工作原理框圖要采用計(jì)算機(jī)系統(tǒng)對傳統(tǒng)的表面粗糙度測量儀進(jìn)行改進(jìn)，就要編制相應(yīng)的計(jì)算機(jī)軟件，**采用比較直觀的菜單形式?？梢园慈鐖D5所示的菜單使用流程圖編制軟件：
圖5 菜單使用流程框圖
3.2 改進(jìn)后的表面粗糙度測量儀的功能及使用效果
由于采用計(jì)算機(jī)系統(tǒng)，將模擬信號轉(zhuǎn)換為數(shù)字信號進(jìn)行靈活的處理，顯著地提高了系統(tǒng)的可靠性，所以既大大增加了測量參數(shù)的數(shù)量，又提高了測量精度。例如：哈爾濱量具刃具廠制造的2205型表面粗糙度測量儀的測量參數(shù)多達(dá)二十六個，測量范圍為0.001～50μm，可任選1～5倍的取樣長度作為評定長度，測量結(jié)果及圖形在顯示器、打印機(jī)或繪圖儀上非常直觀地輸出來。它還采用了較為先選的可選擇的數(shù)字濾波器，它與模擬濾波器相比其特性更為準(zhǔn)確，且不會有元器件參數(shù)誤差帶來的影響。另一方面，若在表面粗糙度測量儀測量實(shí)驗(yàn)的教學(xué)過程中引入改進(jìn)后的表面粗糙度測量儀，就實(shí)驗(yàn)的直觀教學(xué)功能而言，也很有意義。改進(jìn)后的電動輸廓儀，通過計(jì)算機(jī)軟件與硬件的結(jié)合(尤其是軟件)大大加強(qiáng)了實(shí)驗(yàn)過程的直觀性，這體現(xiàn)在以下幾個方面：
(1)整個實(shí)驗(yàn)過程非常直觀地通過軟件的各級菜單進(jìn)行控制。操作簡單、一目了然。(2)輸入與顯示同步，即在測量進(jìn)行過程的同時(shí)，觸針在被測表面上滑行的軌跡動態(tài)地顯示在計(jì)算機(jī)屏幕上。(3)測量結(jié)果及相關(guān)圖形能非常直觀地、準(zhǔn)確地輸出在顯示器、打印機(jī)或繪圖儀上。很顯然，以上這些直觀的教學(xué)效果是其它傳統(tǒng)的表面粗糙度測量實(shí)驗(yàn)方法所不具備的。它在得到正確的測量結(jié)果的同時(shí)，還充分運(yùn)用了直觀教學(xué)的原理，幫助學(xué)生加深對表面粗糙度的概念及其各種參數(shù)的直觀理解。
4 粗糙度儀 結(jié) 語(1)傳統(tǒng)的表面粗糙度測量儀由傳感器、驅(qū)動器、指零表、記錄器和工作臺等主要部件組成，從輸入到輸出全過程均為模擬信號。而在傳統(tǒng)的表面粗糙度測量儀的基礎(chǔ)上，采用計(jì)算機(jī)系統(tǒng)對其進(jìn)行改進(jìn)后，通過模-數(shù)轉(zhuǎn)換將模擬量轉(zhuǎn)換為數(shù)字量送入計(jì)算機(jī)進(jìn)行處理，使得儀器在測量參數(shù)的數(shù)量、測量精度、測量方式的靈活性、測量結(jié)果輸出的直觀性等方面有了極大的提高。(2)從前面的分析知，整個改進(jìn)方案并不復(fù)雜，因此對于目前仍廣泛使用的傳統(tǒng)的表面粗糙度測量儀的改進(jìn)具有一定的意義。(3)隨著電子技術(shù)的進(jìn)步，某些型號的表面粗糙度測量儀還可將表面粗糙度的凹凸不平作三維處理，測量時(shí)在相互平行的多個截面上進(jìn)行，通過模-數(shù)變換器，將模擬量轉(zhuǎn)換為數(shù)字量，送入計(jì)算機(jī)進(jìn)行數(shù)據(jù)處理，記錄其三維放大圖形，并求出等高線圖形，從而更加合理的評定被測面的表面粗糙度。
1.1針描法 針描法又稱觸針法。當(dāng)觸針直接在工件被測表面上輕輕劃過時(shí)，由于被測表面輪廓峰谷起伏， 觸針將在垂直于被測輪廓表面方向上產(chǎn)生上下移動，把這種移通過電子裝置把信號加以放大， 然后通過指零表或其它輸出裝置將有關(guān)粗糙度的數(shù)據(jù)或圖形輸出來
1.2 粗糙度儀的工作原理采用針描法原理的表面粗糙度測量儀由傳感器、驅(qū)動器、指零表、記錄器和電感傳感器是輪廓儀的主要部件之一，其工作原理見圖2，在傳感器測桿的一端裝有金剛石觸針，觸針**曲率半徑r很小，測量時(shí)將觸針搭在工件上，與被測表面垂直接觸，利用驅(qū)動器以一定的速度拖動傳感器。由于被測表面輪廓峰谷起伏，觸狀在被測表面滑行時(shí)，將產(chǎn)生上下移動。此運(yùn)動經(jīng)支點(diǎn)使磁芯同步地上下運(yùn)動，從而使包圍在磁芯外面的兩個差動電感線圈的電感量發(fā)生變化。圖3為儀器的工作原理主框圖。傳感器的線圈與測量線路是直接接入平衡電橋的，線圈電感量的變化使電橋失去平衡，于是就輸出一個和觸針上下的位移量成正比的信號，經(jīng)電子裝置將這一微弱電量的變化放大、相敏檢波后，獲得能表示觸針位移量大小和方向的信號。此后，將信號分成三路：一路加到指零表上，以表示觸針的位置，一路輸至直流功率放大器，放大后推動記錄器進(jìn)行記錄；另一路經(jīng)濾波和平均表放大器放大之后，進(jìn)入積分計(jì)算器，進(jìn)行積分計(jì)算，即可由指示表直接讀出表面粗糙度Ra值。
圖3傳統(tǒng)表面粗糙度測量儀工作原理框圖指零表的作用反映鐵芯在差動電感線圈中所處的位置。當(dāng)鐵芯處于差動電感線圈的中間位置時(shí)，指零表指針指示出零位，即保證處于電感變化的線性范圍之內(nèi)。所以，在測量之前，必須調(diào)整指零表，使其處于零位。噪聲濾波的目的在于剔除一些干擾信號，如電氣元件的噪聲所引起的虛假信號。大量的測試表明，高于400Hz的信號即不是被測表面粗糙度所引的信號，必須從總信號中加以剔除。所以噪聲濾波器是一種低通(低頻能通過)濾波器，它使400Hz以下的低頻信號順利通過，而將400Hz以上的高頻信號迅速衰減，從而達(dá)到濾波的目的。波度濾波的目的則是用以濾掉距大于取樣長度的波度，因此它是一個高通(高頻能通過)濾波器，使表面粗糙度所引起的高頻(相對于波度引起的低頻而言)信號能自由通過。經(jīng)過噪聲濾波和波度濾波以后，剩下來的就是與被測表面粗糙度成比例的信號，再經(jīng)平均表放大器后，所輸出的電流I與被測表面輪廓各點(diǎn)偏離中線的高度y的**值成正比，然后經(jīng)積分器完成的積計(jì)算，得出Ra值，由指零表顯示出來。這種儀器適用于測定0.02-10μm的Ra值，其中有少數(shù)型號的儀器還可測定更小的參數(shù)值，儀器配有各種附件，以適應(yīng)平面、內(nèi)外圓柱面、圓錐面、球面、曲面、以及小孔、溝槽等形狀的工件表面測量。測量迅速方便，測值精度高。
2. 傳統(tǒng)表面粗糙度測量儀存在以下幾個方面的不足：
(1)測量參數(shù)較少，一般僅能測出Ra、Rz、Ry等少量參數(shù)；(2)測量精度較低，測量范圍較小，Ra值的范圍一般為0.02-10μm左右；(3)測量方式不靈活，例如：評定長度的選取，濾波器的選擇等；(4)測量結(jié)果的輸出不直觀。造成上述幾個方面不足的主要原因是：系統(tǒng)的可靠性不高，模擬信號的誤差較大且不便于處理等。
3 表面粗糙度儀
3.1 傳統(tǒng)表面粗糙度測量儀的改進(jìn)方案為了克服傳統(tǒng)表面粗糙度測量儀的不足，應(yīng)該采用計(jì)算機(jī)系統(tǒng)對其進(jìn)行改進(jìn)。例如，英國蘭克精密機(jī)械有限公司制造的“泰呂塞夫(TALYSURF)”10型和我國哈爾濱量具刃具廠制造的2205型表面粗糙度測量儀就采用了計(jì)算機(jī)系統(tǒng)，使其性能較之傳統(tǒng)表面粗糙度測量儀有極大的提高。其基本原理如圖4所示，從相敏整流輸出的模擬信號，經(jīng)過放大及電平轉(zhuǎn)換之后進(jìn)入數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)，計(jì)算機(jī)自動地將其采集的數(shù)據(jù)進(jìn)行數(shù)字濾波和計(jì)算，得到測量結(jié)果，測量結(jié)果及輪廓圖形在顯示器顯示或打印輸出。圖4改進(jìn)后的表面粗糙度測量儀工作原理框圖要采用計(jì)算機(jī)系統(tǒng)對傳統(tǒng)的表面粗糙度測量儀進(jìn)行改進(jìn)，就要編制相應(yīng)的計(jì)算機(jī)軟件，**采用比較直觀的菜單形式?？梢园慈鐖D5所示的菜單使用流程圖編制軟件：
圖5 菜單使用流程框圖
3.2 改進(jìn)后的表面粗糙度測量儀的功能及使用效果
由于采用計(jì)算機(jī)系統(tǒng)，將模擬信號轉(zhuǎn)換為數(shù)字信號進(jìn)行靈活的處理，顯著地提高了系統(tǒng)的可靠性，所以既大大增加了測量參數(shù)的數(shù)量，又提高了測量精度。例如：哈爾濱量具刃具廠制造的2205型表面粗糙度測量儀的測量參數(shù)多達(dá)二十六個，測量范圍為0.001～50μm，可任選1～5倍的取樣長度作為評定長度，測量結(jié)果及圖形在顯示器、打印機(jī)或繪圖儀上非常直觀地輸出來。它還采用了較為先選的可選擇的數(shù)字濾波器，它與模擬濾波器相比其特性更為準(zhǔn)確，且不會有元器件參數(shù)誤差帶來的影響。另一方面，若在表面粗糙度測量儀測量實(shí)驗(yàn)的教學(xué)過程中引入改進(jìn)后的表面粗糙度測量儀，就實(shí)驗(yàn)的直觀教學(xué)功能而言，也很有意義。改進(jìn)后的電動輸廓儀，通過計(jì)算機(jī)軟件與硬件的結(jié)合(尤其是軟件)大大加強(qiáng)了實(shí)驗(yàn)過程的直觀性，這體現(xiàn)在以下幾個方面：
(1)整個實(shí)驗(yàn)過程非常直觀地通過軟件的各級菜單進(jìn)行控制。操作簡單、一目了然。(2)輸入與顯示同步，即在測量進(jìn)行過程的同時(shí)，觸針在被測表面上滑行的軌跡動態(tài)地顯示在計(jì)算機(jī)屏幕上。(3)測量結(jié)果及相關(guān)圖形能非常直觀地、準(zhǔn)確地輸出在顯示器、打印機(jī)或繪圖儀上。很顯然，以上這些直觀的教學(xué)效果是其它傳統(tǒng)的表面粗糙度測量實(shí)驗(yàn)方法所不具備的。它在得到正確的測量結(jié)果的同時(shí)，還充分運(yùn)用了直觀教學(xué)的原理，幫助學(xué)生加深對表面粗糙度的概念及其各種參數(shù)的直觀理解。
4 粗糙度儀 結(jié) 語(1)傳統(tǒng)的表面粗糙度測量儀由傳感器、驅(qū)動器、指零表、記錄器和工作臺等主要部件組成，從輸入到輸出全過程均為模擬信號。而在傳統(tǒng)的表面粗糙度測量儀的基礎(chǔ)上，采用計(jì)算機(jī)系統(tǒng)對其進(jìn)行改進(jìn)后，通過模-數(shù)轉(zhuǎn)換將模擬量轉(zhuǎn)換為數(shù)字量送入計(jì)算機(jī)進(jìn)行處理，使得儀器在測量參數(shù)的數(shù)量、測量精度、測量方式的靈活性、測量結(jié)果輸出的直觀性等方面有了極大的提高。(2)從前面的分析知，整個改進(jìn)方案并不復(fù)雜，因此對于目前仍廣泛使用的傳統(tǒng)的表面粗糙度測量儀的改進(jìn)具有一定的意義。(3)隨著電子技術(shù)的進(jìn)步，某些型號的表面粗糙度測量儀還可將表面粗糙度的凹凸不平作三維處理，測量時(shí)在相互平行的多個截面上進(jìn)行，通過模-數(shù)變換器，將模擬量轉(zhuǎn)換為數(shù)字量，送入計(jì)算機(jī)進(jìn)行數(shù)據(jù)處理，記錄其三維放大圖形，并求出等高線圖形，從而更加合理的評定被測面的表面粗糙度。
